Микроскоп

Микроскоп Integra Academia

Цена: 15 500 000 млн. руб. (от 01.03.2020)

 unnamed1.jpg

Спецификация

СЗМ методы

На воздухе и в жидкости:

АСМ (контактная + полуконтактная + бесконтактная) / Латерально-Силовая Микроскопия / Отображение Фазы/ Модуляция Силы / Отображение Адгезионных Сил / Литографии: АСМ (Силовая)

Только на воздухе:

СТМ / МСМ / ЭСМ / СЕМ / Метод Зонда Кельвина / Отображение Сопротивления Растекания / AFAM (по требованию)/Литографии: АСМ (Силовая, Токовая), СТМ

Технические характеристики

Тип сканирования

Скани-
рование образцом

Скани-
рование зондом*

Размер образца

До 40 мм в диаметре, до 15 мм в высоту

До 100 мм в диаметре,
до 15 мм в высоту

Вес образца

До 100 г

До 300 г

XY позиционирование образца

5x5 мм

Разрешение позиционирования

разрешение - 5 мкм
минимальное перемещение - 2 мкм

Поле сканирования

100x100x10 мкм
3x3x2,6 мкм
не более 1x1x1 мкм

100x100x10 мкм
50x50x5 мкм

До 200x200x20 мкм**(метод DualScanTM)

Нелинейность, XY
(с датчиками обратной связи)

≤0.1%

≤0.15%

Уровень шума, Z
(СКВ в полосе 1000 Гц)

С датчиками

0.04 нм (типично),
0.06 нм

0.06 нм (типично),
0.07 нм

Без датчиков

0.03 нм

0.05 нм

Уровень шума, XY***
(СКВ в полосе 200 Гц)

С датчиками

0.2 нм (типично),
0.3 нм (XY 100 мкм)

0.1 нм (типично),
0.2 нм (XY 50 мкм)

Без датчиков

0.02 нм (XY 100 мкм),
0.001 нм (XY 3 мкм)

0.01 нм (XY 50 мкм),

Ошибка измерения линейных размеров
(с датчиками)

±0.5%

±1.2%

Система видео-
наблюдения

Оптическое разрешение

1 мкм
(0.4 мкм по требованию, NA 0.7)****

3 мкм

Поле зрения

4.5-0.4 мм

2.0-0.4 мм

Непре-
рывный зум

возможно

возможно

Вибро-
изоляция

Активная

0.7-1000 Гц

Пассивная

выше 1 кГц

* Сканирующая измерительная головка может быть использована в качестве выносной головки при измерениях образцов неограниченных размеров.
** По требованию заказчика поле сканирования может быть увеличено вплоть до 200x200x20 мкм.
*** Встроенные емкостные датчики обладают рекордно низким уровнем шумов, что позволяет осуществлять сканирование с замкнутой петлей обратной связи при размерах области сканирования до 50x50 нм.
**** По требованию заказчика возможно дополнительно установить оптическую систему с высоким разрешением.